隨著清代訓詁學理論的建立，受晚明焦紅、楊慎等人所倡導的古文經學的影響，清代學者極力推崇漢代經學和小學，重新考證，求證，而不是空談性理。
從理論上講，清代學者在訓詁學上最大的貢獻是溝通了語言和文字的關系，並指出研究文字和意義必須了解聲音。不了解聲音，無法從文字形式上解決的問題就無法解決，甚至有時會迷失方向，不知所措。因為語言是用聲音來表達意義的，而文字只是記錄聲音的符號，所以要了解文字的聲音，從聲音中探索意義。使訓詁學成為中國語言學科中壹門系統的、理論的、嚴謹的學科。
清代訓詁學的巨大成就與古音學的成就密切相關。這些都成為研究先秦古籍、探討詞義的基礎。其中，段玉裁的成就值得壹提。他結合傳統的“以形求義”和“以聲求義”的訓詁方法，創造性地提出了“形音義互助”的訓詁方法，並成功地應用於《說文解字註》，較好地克服了單純用形訓和音訓求詞源分析的局限性。它為後世文獻學研究提供了主要材料，影響深遠。