超純水處理在壹般工藝中很難實現。采用預處理、反滲透、超凈化、後處理四個步驟，多級過濾、高效離子交換裝置、超濾過濾器、紫外燈、TOC去除裝置等多種處理方法，電阻率可達18.25mω* cm(25℃)。
超純水是為了開發超純材料(半導體原始材料、納米精細陶瓷材料等)而采用蒸餾、去離子、反滲透或其他適當的超臨界精細技術生產的。)在美國科技界。除了水分子(H20)，這種水中幾乎沒有雜質，也沒有細菌、病毒、含氯的二惡英等有機物，當然也沒有人體所需的礦物質微量元素。壹般來說，這種水不能直接喝，對人體有害，會從人體內沈澱出來。