《禮記》:頭上有瘡就要洗澡，有選擇就要洗澡。
《黃帝內經》也說:有邪氣，汙以為汗，邪氣可用汗解。
《五十二病方》隨馬王堆漢墓出土，明確提出用中醫熬制的熱藥蒸治疾病，包括全方位熏洗和沐浴，如用羅阮治療痔瘡；熬韭菜酒治傷科疾病。
東漢醫聖張仲景的《金匱要略》中也記載了用苦參熏洗治療狐病侵蝕婦女下體的藥方和手法。
晉代葛洪《肘後備急方》記載了用黃柏煎煮，黃岑熏洗治療外傷和癰。
唐代名醫孫思邈的《千金方耀》記載了用大劑量黃芪防風湯熏洗治療劉皇後中風並使其蘇醒的處方和手法。宮深院采用中藥熏蒸療法治療皇太後重度中風，足以說明中藥熏蒸療法在當時的作用和影響。
清代的急救理論和駢文理論是中醫外治法分支科學體系的成熟和完善；尤其是理論駢文中精辟、辯證、顛撲不破的宏觀理論，將中醫外治法從實踐到理論推向了壹個新的高度。其中就有外治大師吳師機的苦練，認為“外治十余年，拘驗數萬人，治者不計其數”。
建國後，隨著科學技術的進步，也出現了壹批有影響的專著，如《自然療法大全》、《實用中醫獨特療法大全》、《當代中醫臨床治療大全》、《中國醫學療法大全》、《保心療法》等。，相繼出版，取長補短，為中醫外治法和中醫熏蒸療法的不斷發展做出了貢獻。