在古希臘早期，形容詞atheos的意思是“不信者”。公元前5世紀以後，該詞的含義逐漸指向“有意無神論”，成為“與上帝斷絕關系”或“否認上帝的存在”，而不是早期的σεβ(asebēs，ungodly's)。古希臘語的現代翻譯通常將atheos翻譯為“無神論”，而θε(atheot \u s)則翻譯為抽象名詞“無神論”。西塞羅把希臘語單詞atheos翻譯成拉丁語。這個詞在早期天主教和古希臘宗教的辯論中經常可以看到，雙方都用它來鄙視對方。在英語中，無神論壹詞來源於1587左右的法語單詞無神論。無神論者壹詞(來源於法語athee，意為否認或拒絕相信上帝存在的人)在英語中出現的時間早於無神論，約1571年。無神論者在1577年第壹次被貼上不信者的標簽。
後來出現的相關詞:自然神論者，1621年，有神論者，1662年；有神論，1678；自然神論，1682。1700左右，在無神論的影響下，自然神論和有神論的含義略有變化；自然神論的本義與有神論如出壹轍，但具有獨立的哲學意義。
凱倫·阿姆斯特朗曾經記錄道“在16和17世紀之間，無神論者這個詞只能在辯論中出現...被稱為無神論者是極大的侮辱，所以沒有人願意被稱為無神論者。”無神論在18世紀晚期的歐洲首次被用作自稱，當時這個詞的意思是不相信亞伯拉罕的宗教。到了20世紀，無神論的含義隨著全球化的趨勢擴大到了“不信仰任何宗教”。然而，在西方社會，這個詞主要用來形容“不信上帝”。