《古代漢語虛詞詞典》對於“唯”、“惟”的使用是這樣描述的：“唯，可用作副詞、連詞、助詞。先秦時已有用例，後壹直沿用於文言中。現代漢語書面語也使用。”“惟，可用作副詞、連詞、助詞。先秦已普遍使用，後壹直沿用於文言中。”
那麽是否意味著，在現代漢語中，“唯”完全取代了“惟”，二者在意義上沒有任何差別了呢？
首先，我們來看《說文》對於二者地解釋。
“唯，諾也。”
“惟，凡思也。”
在字的本意上，二者是有差別的“唯”表壹種應答，“惟”表示思考。
然後，在《現代漢語大詞典》中，對於二者是這樣解釋的：
“唯”（wéì）⑴獨；僅；只有⑵以；因為⑶表示希望、祈請⑷聽憑；任隨⑸思；考慮⑹雖然；即使⑺語首助詞。亦寫作“唯”“維”
（wěì）⑴應答聲⑵招呼聲
“惟”(wéì)⑴思考；思念⑵有⑶為；是⑷聽從；隨從⑸願；希望⑹副詞，相當於“只有”⑺連詞，也作“唯”“維”⑻介詞，也作“唯”“維”，相當於“以；由於”⑼助詞，也作“唯”“維”⑽水名。通“濰”⑾通“帷”⑿姓
(wěì)⑴專壹⑵獨壹無二
僅看兩字的第壹項釋義，讀wéì時，“唯：獨、僅”，“惟：思考”；讀wěì時，“唯：應答聲”，“惟：專壹”。與《說文》差別不大。
再看《古代漢語虛詞詞典》對二者用法的列舉。
詞性
“唯”
“惟”
副詞
1、 表示對事物或動作的範圍加以限定。可譯為“只”、“僅僅”等。
2、 用於對話中，表示聽到或同意對方的談話，也可疊用作“唯唯”。可譯為“是”、“對”、“嗯”等。
1、用於謂語前，表示對事物或動作的範圍加以限定，可譯作“只”、“僅僅”等。
連詞
1、 連接分句，表示假設和讓步，相當於“雖”。可譯為“即使”、“縱使”等。
2、 連接分句，表示動作、行為的原因、理由。可譯為“由於”、“正因為”等。
1、 用於名詞或名詞性詞組之間，表示並列關系。可以譯為“和”、“與”等。
2、 連接分句，表示假設和讓步，相當於“雖”。可譯為“縱使”、“即使”等。
3、 表示動作、行為的原因、理由。可譯為“由於”、“正因為”等，或隨上下文義靈活譯出。
助詞
1、用在句首，意在引出話題，為立言行文開端。可不必譯出。
1、 用在句首，意在引出話題，為立言行文開端。可不必譯出。
2、 用在句首，引出時間、處所。可不必譯出。
由表格中的對照我們可以看出：
作為副詞時“惟”沒有表示“應答”的意思。例如：
《易?乾》：“知進退存亡而不失其正者，其唯聖人乎。”（副詞，獨、僅）
《論語?述而》：“用之則行，舍之則藏，惟我與爾有是夫！”（副詞，只有）
而在《論語?裏仁》：“子曰：‘參乎！吾道壹以貫之。’曾子曰：‘唯。’”中，就不可以用“惟”替代。在這個層面上，“唯”可以包含“惟”。
作為連詞時“唯”可連接分句，“惟”在此基礎上還可以連接名詞。例如：
《荀子?性惡》：“然則唯禹不知仁義法正……”（連詞，雖然、即使）
《史記?淮陰侯列傳》：“（韓）信再拜賀曰：‘惟信亦以為大王弗如也。’”（連詞，即使）
《老子?第二章》：“夫唯不居，是以不去。”（連詞，由於）
《左傳?哀公元年》：“闔廬惟能用其民，以敗我於柏舉。”（連詞，由於）
而在《尚書?禹貢》：“齒革羽毛惟木。”中，“惟”表示“和、與”。這裏，就不能用“唯”來替代。
作為助詞時“惟”的用法比“唯”稍細致些，但可以忽略。
也就是說，“唯”並不能完全取代“惟”，只是，在現代漢語中，用到只能使用“惟”的情況並不多。
[附] 列出“唯”、“惟”的壹些詞語，以供參考。其中，有些“惟”的詞語為古用法，因此不列入考慮。
唯壹、唯心、唯心史觀、唯心主義、唯心論、唯我（吾）獨尊、唯我論、唯利是求（視/圖）、唯阿、唯妙唯肖、唯其、唯物史觀、唯物主義、唯物論、唯物辯證法、唯所欲為、惟命是從（聽）、唯美主義、唯理論、唯喏（諾）、唯唯、唯唯否否、唯唯諾諾、唯復、唯然、唯獨、唯謹、唯識
惟壹、惟力是視、惟大梁、惟口起羞、惟日不足、惟日為歲、惟兮、惟正之供、惟有、惟那木、惟肖、惟我獨尊、惟利是求（圖/命/視/趨）、惟谷、惟良、惟妙惟肖、惟其、惟所欲為、惟命、惟命是從（聽）、惟念、惟垣、惟城、惟思、惟度、惟屏、惟恐、惟真、惟桑、惟惟、惟新、惟塵、惟精惟壹、惟寧、惟翰、惟獨、惟舊、惟藩、惟謹