唯, 讀 wéi，是形聲字。《說文·口部》“唯,諾也。從口，隹聲。”本義為恭敬的應答聲，表示應允，如“唯唯諾諾”。惟, 讀 wéi,也是形聲字。
唯，假借為範圍副詞, 讀 wéi, 用來限定事物或動作的範圍，相當於“只”“只有”。如“唯獨”“唯恐”“唯利是圖”“唯命是從”“唯命是聽”“唯我獨尊” “唯壹”“唯有”等。此義也可用“惟”，以上詞語中的“唯”均可用“惟”。
例如：“這篇壹發表，我的剪存材料，可以廢去不少，唯有壹篇，不忍聽其湮沒……”(《魯迅全集》第 4 卷，第 504 頁)“我們的勞苦大眾歷來只被最劇烈的壓迫和榨取，連識字教育的布施也得不到，惟有默默地身受著宰割和滅亡。”(《魯迅全集》第 4卷，第 221 頁) 但是，在此義上，與“唯物”“唯心”相關的詞語只能用“唯”，如“唯物論”“唯心主義”“唯心史觀”“唯物辯證法”等。這是因為它們作為表示哲學概念並曾高度政治化的強勢詞語，長期高頻度使用，其詞形、語形早已在社會語用中定型。?
唯、惟，又假借為語氣助詞,表示肯定、強調，也可起調整音節的作用。如“唯其”“人心唯危”，也寫作“惟其”“人心惟危”。惟妙惟肖，最初寫作“維妙維肖”。“維妙維肖”的“維”，是語氣助詞，用法與“唯其”的“唯”近同。
例如，清代馮鎮巒《讀<聊齋>雜說》：“《聊齋》中間用字法，不過壹二字，偶露句中，遂已絕妙，形容維妙維肖，仿佛《水經註》造語。”維妙維肖，後來也寫作“惟妙惟肖”“唯妙唯肖”，這是因為“維”“惟”“唯”在語氣助詞這壹用法上往往可通用。?