清代乾嘉語言音韻訓詁之學盛行，
王念孫始治《廣雅》，成《廣雅疏證》10卷，每卷又分為上、下。清儒譽為“蓋藉張揖之書以納諸說，而實多揖所未知，學者比諸酈道元之註《水經》，註優於經雲。”疏證成書至第9卷止,第10卷是其子王引之所述。王氏疏證《廣雅》，其最大特點在於就古音以求古義，引申觸類，不限形體。書中推闡“聲近義同”、“聲轉義近”之理，隨處皆是。其以聲音通訓詁，書中屢言“某之言某也”，探求詞源、詞族意。同時郝懿行作《爾雅義疏》，錢繹作《方言箋疏》都直接或間接受其影響。
《廣雅》舊刻本訛字較多，且曹憲音夾在正文之下，有正文誤為音的，也有音誤入正文的，王氏父子都壹壹校勘。把曹憲音分出，列於《廣雅》原書之末，眉目壹清。《廣雅疏證》有學海堂本、畿輔叢書本、王氏家刻本。近年北京中華書局、上海古籍出版社均有影印本刊行；江蘇古籍出版社亦影印出版高郵王氏4種，其中《廣雅疏證》編有詞目索引附後，極便檢核。《廣雅疏證》刊成後,王氏又不斷加以修改，成《補正》壹卷。此書1918年上海廣倉學宭有排印本；羅振玉據手稿本抄錄，1929年編印入《殷禮在斯堂叢書》中。王氏之後又有為之補證的數家，惟精義不多。
與王念孫同時疏解《廣雅》的，還有錢大昭作《廣雅義疏》20卷，當時只有傳抄本，未經刊行，影響不大。桂馥看過原稿，嘆其精審。又盧文弨有《廣雅釋天以下註》，收在《廣雅義疏》中。日本刊有《靜嘉堂叢書》本，國內各大圖書館都有庋藏。