早在原始社會，人們用樹葉、柴草等點燃熏烤某壹部位，發現可以起到減輕或消除病痛的作用，這可能就是煙熏法的起源。在醫學著作中對煙熏法的記載最早當屬《五十二病方》，該書記載了用熏洗治療癇癥、痔瘺、燒傷、瘢痕、幹瘙、蛇傷等多種病癥。如僅痔瘺就有直接熏、埋在席下熏、置於容器中熏、地下挖洞燔藥坐熏、藥物燒煙等多種方法。《內經》有“寒者熱之、熱者寒之……摩之浴之”（“浴之”即熏洗法）的論述。
漢代張仲景《金匱要略》中有燒雄黃取煙熏肛門來治療狐惑的記載。華佗更是將熏洗療法用於腸胃的外科手術中。清代外治宗師吳尚先（吳師機）所著的《理瀹駢文》，對熏洗療法作出了重大貢獻。該書對熏洗療法的理論基礎、作用機理、辨證施治、藥物選擇、使用方法、主治功效、適應病癥、註意事項等，都從理論上進行了較為深入系統的闡述。使熏洗療法在幾千年臨床應用的基礎上上升到理論的高度，並在其理論的指導下創造性地將熏洗療法應用於臨床，使熏洗療法發展到更臻於完善的地步，這是熏洗療法歷史上的壹個裏程碑。建國以來，中醫藥事業有了很大的發展，尤其是90年代以來，熏洗療法得到了突飛猛進的發展，已經成為治療某些疾病的常用方法。