氮氣罐流量

5-25L/M或5-60l/m。根據不同容積的機櫃尺寸，氮氣流量計可分為5-25L/M或5-60l/m..氮氣櫃是壹種氧濃度監控型氮氣保護櫃，適用於半導體器件生產過程中成品、半成品、原料和器具的存放。