臭氧是強氧化劑，殺菌過程屬於生化氧化反應。臭氧殺菌原理有以下三種形式:
1.臭氧可以氧化分解細菌中降解葡萄糖所需的酶，使TCA循環無法進行，導致細胞生命活動所需的ATP缺乏，細菌失活死亡。
2.直接與細菌和病毒相互作用，破壞其細胞器、DNA和RNA，破壞細菌的新陳代謝，導致細菌死亡。
3、通過細胞膜組織，侵入細胞，作用於外膜脂蛋白和內脂多糖，使細菌發生通透性畸變而溶解死亡。
擴展數據臭氧殺菌效果:
臭氧殺菌的速度和效果無與倫比。它的高氧化還原電位決定了它在氧化、脫色和除臭方面的廣泛應用。有研究指出，臭氧可以殺死水中幾乎所有對人體有害的物質，如鐵、錳、鉻、硫酸鹽、苯酚、苯、氧化物等。，還能分解有機物，殺死藻類。
與常規滅菌方法相比，臭氧滅菌方法具有以下特點:
1，效率高。臭氧消毒滅菌以空氣為基礎，不需要任何其他輔料和添加劑。身體包容性好，殺菌徹底，還具有很強的去除黴菌、腥味、異味的功能。
2、清潔度高。臭氧快速分解成氧氣是臭氧作為消毒殺菌的獨特優勢。臭氧是利用空氣中的氧氣產生的。在消毒過程中，多余的氧氣在30分鐘後結合成氧分子，無殘留，解決了消毒劑消毒方法帶來的二次汙染問題，也省去了消毒後再次清洗。
3.方便。臭氧滅菌器壹般安裝在潔凈室或空氣凈化系統或滅菌室(如臭氧滅菌櫃、傳送窗等。).根據調試驗證的殺菌濃度和時間，按時間設定滅菌器的開啟和運行時間，方便操作和使用。
4.經濟。通過比較臭氧消毒在許多制藥行業和醫療衛生單位的使用和運行情況，臭氧消毒法與其他方法相比具有很大的經濟效益和社會效益。在工業快速發展的今天，環保尤為重要，而臭氧消毒避免了其他消毒方式帶來的二次汙染。
參考來源百度百科-臭氧消毒