20世紀之初到現代研究訓詁的學者繼承清代學者研究的成果，吸收了外國的壹些早期的語言學的知識，開展了壹些新的研究工作。主要有以下幾方面：
①字原和語根的探求。章炳麟作《文始》，取《說文》中的 510個獨體字和半獨體字作為“初文”和“準初文”，推求由同壹“初文”而繁衍出來的音義相關的語詞。凡音義皆近，叫作孳乳，音近義通，叫作變易。目的在求“語源”，求語詞之間的親屬關系。但可惜沒有脫離文字形體的束縛，所求不是“語源”，結果是文字之原，他用的方法是演繹法，而不是歸納法；在聲音的通轉上又以他所定的《成均圖》為根據，有些也失之勉強。
其後，沈兼士作《右文說在訓詁學上之沿革及其推闡》，主張以形聲字為出發點，用歸納的方法研究形聲字同壹聲符所表現的基本意義。但同壹個聲符所表現的意義不壹定就是壹個，也當有所區別。形聲字的聲符，凡音義相同或相近的可以構成壹個詞族，由此再聯系音韻，借重古音的知識（包括聲母韻母），以求其語根。以實際證據為主，不以主觀想象為斷，其結果必較可信。這種理論無疑問是正確的。就研究的方法來說，把語言文字作為壹個有系統的整體來研究，溯源探委，具有創新的精神，大為學者所重視。他後來所主編的《廣韻聲系》就是為從事這項研究工作的張本。
②研究同源字。同源字是音近義同和義近音同的字，合在壹起可以定出是同出壹源。類聚同源字的意思也是在尋求語源。同源字的研究，其實就是語源的研究。同源字大都是同義詞，或意義相關的詞。在原始的時候本來是壹個詞，代表某壹基本概念，後來語音分化為兩個以上的讀音，才產生細微的意義差別。但是同義詞不都是同源字，要以聲音是否相近為定。王力在這方面作了深入細致的研究，根據古代的訓詁資料，探微索隱，編成《同源字典》壹書，以韻部為綱，聲紐為目，條理秩如，是研究漢語詞義學的壹部新著。
③虛詞的研究。近代因為語法學的興起，虛詞的研究有了新的發展。最明顯的改變是研究虛詞的人對虛詞的詞類和用法都有比較清晰的說明。楊樹達曾根據《馬氏文通》作《高等國文法》，後來就以《高等國文法》為基礎， 參照王引之 《經傳釋詞》，作《詞詮》壹書。專門解說虛詞。其後裴學海又作《古書虛字集釋》，集錄前人所說，並加以補正，與《詞詮》相得益彰。呂叔湘有《文言虛字》壹書，簡明賅要，是學習古代文言文的壹本重要的參考書。
④根據出土的古銅器銘文考訂古書的訓釋。先秦的古書都以篆書古文書寫，到漢代經過傳寫，後來又轉寫為隸書，文字偽變已多，漢代以來的解釋往往有誤。現代可以借助商周銅器銘文解決壹些前代義訓中的癥結問題。王國維首先以銅器銘文解釋《詩》、《書》中的常用詞語（《觀堂集林》卷二《與友人論詩書中成語書》），別開生面。後來壹些古文字學家繼踵而起 ，創獲更多。在這方面成就最多的是於省吾。他平生所最服膺的是王念孫，所以他所著的書都重實證，不為鑿空之論，如《尚書新證》、《詩經新證》、《楚辭新證》等書駁正前人誤解的地方極多，為利用古文字資料刊正古書創立出壹種新的門徑。
⑤研究的範圍擴展到唐宋以後語詞的考釋。清代學者對壹些通常在書面上見到的口語詞已經有所集錄，大都是隨筆劄記，略明出處，而解釋不多。近代以來，羅振玉雖有《俗說》壹書，稍補前人著述所不備，但仍屬劄記性質，還不能說是訓詁的研究。惟到張相作《詩詞曲語詞匯釋》 壹書才開始作唐以後詩詞曲語詞的研究。詩詞曲中很多習用的不容易懂的口語詞在字書和詞書中都沒有解釋，張相壹壹舉例，比證詳考，作出解釋，是壹種新的成就。同類的著作還有陸淡安的《小說詞語匯釋》、《戲曲詞語匯釋》和蔣禮鴻的《敦煌變文字義通釋》都有很精到的解釋，為閱讀唐以後的文學作品提供參考。