先進材料的表征方法包括:利用電子、光子、離子、原子、強電場、熱能等之間的相互作用。和固體表面，測量從表面散射或發射的電子、光子、離子、原子和分子的能譜、光譜、質譜，
空間分布或衍射圖像，表示表面微觀形貌、表面粗糙度、表面微觀成分、表面紋理、表面相結構、表面塗層結構和成分等相關參數。
應用領域:材料、電子、汽車、航空、機械加工、半導體制造、陶瓷、化學、醫學、生物、冶金、地質等。