表面輪廓。x射線衍射(40 Ma，40 k V Cook α輻射)測量了平面布局。
使用對稱(θ–θ)和不對稱(2θ)掃描模式。
評估晶體結構。有入射角的x射線
設置1是膜面下的不對稱。
掃描模式。x射線衍射和平面布局
使用對稱(θχ–2θχ)掃描模式的x射線檢測。
衍射晶體晶格平面垂直於襯底表面的平面，其中具有入射角的X射線為
1膜面。表面形貌學
該膜被用作使用原子力的觀察地形。
顯微鏡(原子力顯微鏡)處於動態掃描模式，在表面
粗糙度(視黃酸)是決定的地形。
或者
薄膜單層厚度的測量及其相關性
表面輪廓。x射線衍射(使用40 mA、40 kV CUKα輻射)測量完整的平面布局並顯影。
使用對稱(θ-θ)和不對稱(2θ)掃描模式。
晶體結構的評價。x射線入射角
不對稱下，膜面為1。
掃描模式。x射線衍射是在平面排列中進行的。
使用對稱(θχ-2θχ)掃描模式檢測x射線。
衍射晶格平面垂直於襯底的表面平面，並且X射線的入射角
膠片表面1。表面形貌學
使用原子力形貌術觀察薄膜。
動態掃描模式下的表面顯微鏡(AFM)
粗糙度(RA)由地形決定。