場發射掃描電子顯微鏡
掃描電子顯微鏡。
以下是專業差異，是我發現的，也是我不理解的:
FESEM是場發射炮的SEM，SEM是壹個統稱。場發射槍比LaB6(CeB6)的電子束亮100倍，比鎢絲亮10000倍。它是壹種高性能的電子光源。因為它采用的技術可以使電子束的束斑非常精細(最薄甚至在0.5 nm以下)，所以可以有很高的分辨率(目前可以達到0.4 nm)。
噴金和碳的目的是增加樣品表面的導電性，但為了看到最接近原始形貌的圖片，最好不要在FESEM樣品上噴金甚至碳。由於其亮度高，可以降低不導電樣品的電壓，或者采用電子束減速模式等新技術，獲得高質量的照片。