三維激光掃描儀的掃描速度是衡量其性能的重要指標之壹。不同類型的掃描儀速度不同，從每秒幾千個點到每秒幾十萬個點。
掃描精度是衡量三維激光掃描儀性能的另壹個重要指標，它決定了掃描點雲數據的精度。掃描距離是指三維激光掃描儀能夠掃描的最大距離，通常在幾十米到幾百米之間。