桓臺縣是早期人們居住和生活的地區之壹，史家遺址出土了中國最早的甲骨文。桓臺周朝屬齊國，秦屬齊縣。公元前206年，建縣並命名為Xi安縣。
1260——1263屬子洲路(中國統壹之年)，1265屬子來路(元至元年)，1287更名為濮陽路。1376(明洪武九年)屬子洲，次年改濟南府。清代沿襲明制。1913(民國2年)復、周、村縣、道縣、新城縣隸屬濟南道。次年六月，改稱沁水縣。4月，更名為桓臺縣，以齊桓公馬戲命名。1928廢路系統，山東省直屬。1938年7月，華北遊擊縱隊第十三支隊第十二梯隊駐山東省第十專員公署下屬的吉托治縣政府。10年，設立昌(山)、桓(臺)、林(子)、宜(都)四縣邊區行政聯防處，隸屬於中國清河特委。
1940年4月28日，桓臺縣抗日民主政府成立，隸屬清河專員公署。同時，撤銷常歡臨猗四縣邊區行政聯防辦公室。年底改為清河執行董事辦公室清溪派出機構。1942 65438+10月，清河區委決定撤銷縣區建制，成立常歡軍政工作小組，隸屬清河行署署長辦公室仲卿特派員公署。當年7月，改為清溪社。1943年8月，恢復桓臺縣抗日民主政府，隸屬關系不變。
1944 65438+10月，清河區與冀魯豫邊區合並，稱渤海行政區，桓臺縣為渤海行政區第六派出機構。1945年8月，改為渤海行政區第三機構。1949年7月，第三代辦所更名為清河代辦所，縣屬。1950年5月，清河社撤銷，桓臺縣劃歸淄博社。1953年6月，淄博代辦所更名為淄博工礦特區，桓臺縣劃歸惠民代辦所。1958 11年6月，桓臺並入博興縣，隸屬於淄博的機構。9月1961，遷至桓臺縣，改為惠民社。1983 10月，桓臺縣劃歸淄博市。