“為令入等至，制惑而精進。”的意思是：為了進入禪定的狀態，需要降伏自己的妄念而精進修行。
參考資料：
1、《法相辭典》(朱芾煌編)：等至，梵名“三摩缽底”，此雲等至，乃定之別名。
2、佛學大辭典(丁福保 編)：等至，定之別名。梵名三摩缽底。在定中，身心平等安和謂之等，定能令至平等位，故叫做等至。心住定，心住靜慮。
3、《佛學常見辭匯》(陳義孝 編)：梵語三摩缽底，華言等至。謂能修此定，正受現前，大發光明，慶快殊勝，處染不染，無有退轉也。
4、《藏傳佛教辭典》(中華佛典寶庫編)：等至，定的別名。身心平等安祥叫做等，要以定力才能達到這種“等”的境界，所以叫做“等至”。